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?SJ5730-100小型輪廓測量儀采用超高精度衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能伺服驅(qū)動電機、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，能實現(xiàn)對工件表面粗糙度和輪廓進行高精度測量和分析。

?SuperViewW系列3d輪廓一鍵測量儀也叫白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它儀器達不到檢測的精度要求。

SJ5718-PR一鍵式輪廓度測量儀器除了具有高科技含量外，還將測試表面粗糙度和表面輪廓兩種功能有機地設(shè)計在同一臺儀器上，其輪廓及粗糙度測量功能可互換，更適合于深孔測量的粗糙度模塊，是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器。

?中圖儀器輪廓測量儀SuperViewW1是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀器的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。

SJ5700DUAL掃描粗糙度輪廓測量儀具有精度高、操作方便易用、功能強大、智能防護、智能接觸等優(yōu)點，一次測量即可自動記錄和顯示任意位置螺紋數(shù)據(jù)及各種螺紋參數(shù)，自動生成被測螺紋的曲線圖、相關(guān)參數(shù)數(shù)據(jù)和圖表，儀器配備各種專業(yè)的現(xiàn)場工件工裝夾具，非常適合各種生產(chǎn)線螺紋工件、絲杠、軸類、筒類、大曲面零件以及特殊多段螺紋的在線測量。