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SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀產(chǎn)品采用進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量

中圖儀器激光干涉儀采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。

SJ6000機床激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量

PLR3000多自由度測量光纖激光尺支持單軸至多軸測量，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，PLR3000光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率。

GTS系列6D坐標(biāo)激光跟蹤儀集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù)、精密機械技術(shù)、計算機及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計算理論于一體，是高精度、便攜式的空間大尺寸坐標(biāo)測量機，是同時具高精度（μm級）、大工作空間（百米級）的高性能光電測量儀器。

PLR3000位置檢測光纖激光尺設(shè)備是新一代高精度位置檢測設(shè)備，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。