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PLR3000位置檢測光纖激光尺設(shè)備是新一代高精度位置檢測設(shè)備,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。
PLR3000系列多規(guī)格光纖激光尺可根據(jù)用戶需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實現(xiàn)多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置,用戶可根據(jù)實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內(nèi)置干涉鏡組的測量探頭,滿足用戶各種復(fù)雜場景應(yīng)用。
PLR3000高分辨率光纖激光尺高分辨率數(shù)字正交信號輸出,分辨率達10nm(可外部拓展)?;诩す飧缮鏈y量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量,為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000系列高穩(wěn)定光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設(shè)備,基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000系列0.02ppm穩(wěn)頻精度光纖激光尺突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。
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